Оптика на оптичната система с динамично сканиране: 1 бр леща с малък фокус, 1-2 бр леща за фокусиране, огледало Galvo. Цялата оптична леща формира функция на разширяване на лъча, фокусиране и отклонение на лъча и сканиране.
Разширяващата се част е отрицателна леща, т.е. леща с малък фокус, която реализира разширяване на лъча и движещо се увеличение, фокусиращата леща се състои от група положителни лещи. Галво огледалото е огледало в системата на галванометъра.
(1) Оптимизиране на дизайна на лещите: Оптимално съотношение между диаметър и дебелина
(2) Висок праг на повреда на обектива:>30J/cm2 10ns
(3) Покритие с изключително ниска абсорбция, степен на абсорбция: <20ppm
(4) Съотношение на дебелината към диаметъра на галванометъра: 1:35
(5) Точност на повърхността на лещата: <= λ/5
Постобективна леща
| Максимална входна зеница (mm) | Оптика 1 Диаметър (mm) | Оптика 2 Диаметър (mm) | Оптика 3 Диаметър (mm) | Поле за сканиране (mm) | Ясна бленда на скенера (mm) | Дължина на вълната |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Рефлекторно огледало
| Описание на частта | Диаметър (mm) | Дебелина (mm) | Материал | Покритие |
| Силиконов рефлектор | 25.4 | 3 | Силиций | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Силиконов рефлектор | 30 | 4 | Силиций | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Фибърен рефлектор | 25.4 | 6.35 | Разтопен силициев диоксид | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Фибърен рефлектор | 30 | 5 | Разтопен силициев диоксид | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Фибърен рефлектор | 50 | 10 | Разтопен силициев диоксид | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6 | Разтопен силициев диоксид | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Разтопен силициев диоксид | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 30 | 5 | Разтопен силициев диоксид | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 50 | 10 | Разтопен силициев диоксид | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6 | Разтопен силициев диоксид | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Разтопен силициев диоксид | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 10 | Разтопен силициев диоксид | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 30 | 5 | Разтопен силициев диоксид | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Огледало Galvo
| Описание на частта | Максимална входна зеница (mm) | Материал | Покритие | Дължина на вълната |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Силиций | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Разтопен силициев диоксид | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Разтопен силициев диоксид | HR@532nm | 532 nm |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Разтопен силициев диоксид | HR@355nm | 355 nm |
Защитна леща
| Диаметър (mm) | дебелина (mm) | Материал | Покритие |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
